11月21日,国内第一台具有自主知识产权的光掩模清洗设备在常州国家高新区——常州瑞择微电子科技有限公司诞生,打破了欧美长期在光掩模设备的垄断地位。 据悉,在极大规模集成电路生产制作流程中,最前沿、最关键部分是光掩模。光掩模是集成电路设计知识产权的载体,是半导体芯片制程必不可少的“模具”。一套光掩模可复制出成千上万的芯片,因此光掩模的品质决定了半导体芯片的先进程度。瑞择公司此次出厂的130纳米光掩模清洗设备,涵盖了机械、电气、化学、工业控制方面的先进技术,具有完全的自主知识产权。 常州瑞择公司是专业从事半导体先进装备的研制、生产、销售和服务的高科技公司。2007年,美国德克萨斯州州立大学半导体材料系硕士生徐飞放弃美国优厚待遇,带着国际最顶尖的光掩模设备技术,回国考察了长三角地区的众多城市,由于资金短缺一度让他陷入困境。就在这时,常州市政府向徐飞抛去了橄榄枝,承诺给他“三个一百”:资金100万元、住房100平方米、场地100平方米。2007年8月,徐飞在常州高新区(新北区)三晶高科技技术园,创办了常州瑞择微电子科技有限公司,同年他被评为我市首批领军型海外留学归国创业人才。目前,公司建立了自己的研发室和洁净室,涵盖工艺、机械设计、电气设计和软件设计,并已申请了一项发明专利和两项实用新型专利,正准备申请两项国际专利。 据悉,在今后的两年,公司还将开发光掩模涂胶、烘干、蚀刻、显影等成套工艺设备,形成具有自主知识产权的半导体先进装备链。通过替代进口设备、满足国内需求、进军国际市场,发展成为全球半导体设备制造行业的知名企业。 |